去離子水

水是清潔中最重要的元素，它能溶解髒汙、帶走顆粒。自己洗車過的人都知道，殘留的水份若不盡快擦乾，反而使車子看起來更髒？其實是因為水裡頭的礦物質沉積在車身表面。在半導體製備的清潔過程中，水一樣扮演著重要的角色、更高的要求，水中的礦物質對於奈米級的材料，簡直是龐然大物，需透過多道手續除去水中的礦物質，並以氮氣迅速吹走殘留的水，才能確保最終的電子元件效能不受影響。