SiC浪潮來了!高效、高速的能源救星誕生了嗎?

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當能源危機與氣候變遷壓力越來越大,人類迫切需要更高效率的能源科技。傳統矽晶片在高溫、高壓下效能降低,於是新一代「寬能隙半導體」登場,特別是矽碳化物 (SiC),它能承受高電壓與高溫,成為電動車、太陽能與資料中心的核心材料。雖然製作困難、成本高,但隨著SiC晶圓量率的提升,2025年全球各大晶圓廠商正開始加速布局 SiC 產線,搶攻高效能電力元件市場。

撰文|黃鼎鈞

能源危機是全人類共同的課題,當工業仍仰賴化石燃料這種難以再生的資源時,我們不得不問:「能源真的有耗盡的一天嗎?」為了延緩這一天的到來,科學家與工程師們正積極推動能源轉型,讓世界從燃燒走向電氣化,從枯竭走向循環。同時,隨著電動車、太陽能系統、資料中心與高速運算設備的發展,電力轉換的效率成為了促進環保與經濟效益的關鍵議題。然而,傳統以矽 (Si) 為基礎的半導體雖然成熟穩定,但在高電壓、高頻率與高溫環境下效率明顯下降,導致能源浪費與散熱負擔,科學界與產業界因此開始將焦點轉向「寬能隙半導體」(Wide Bandgap Semiconductor, WBG),氮化鎵 (GaN) 與矽碳化物 (SiC) 成為「矽」之後的明日之星,它們能在更高電壓與溫度下運作,同時大幅降低能量損失,使科技設備邁向更高效能的未來。

圖1:碳化矽(SiC) 晶圓實際圖片|來源:Wikimedia Commons

「能隙」(bandgap) 代表電子從價帶躍遷到導帶所需的能量,能隙越寬,材料在高電壓與高溫環境下越能保持穩定。換言之,若能隙太窄,電子容易在微小能量擾動下被激發,導致材料在高溫或高電壓環境中漏電嚴重、效率降低,甚至失去穩定性。以實際材料為例,主流電子元件使用的矽,其能隙約1.1 eV,而屬於寬能隙半導體的碳化矽 (SiC) 和氮化鎵 (GaN) 則分別有3.2 eV與3.4 eV。這樣的差異讓寬能隙半導體能承受約十倍於矽的電場強度,因此在同樣的耐壓條件下,漂移層(drift layer,就像承受電壓的緩衝墊)可以設計得更薄,使元件體積更小、效率更高,且由於崩潰電場更高,電子在導電過程中的流動也更順暢,讓能量轉換更有效率、反應更靈敏。

雖然SiC與GaN都屬於寬能隙半導體,但它們的物理特性與應用方向各有優勢,以SiC(特別是4H-SiC)為例,它具有穩定的晶體結構與較少的缺陷,因此能承受更高電場(約3 MV/cm),適合應用於電動車主逆變器、太陽能發電系統與高壓電網,此外,SiC的熱導率約為矽的三倍,能在高達300 ℃的環境下穩定運作,減少散熱需求;相對地,GaN雖然能隙略寬(約3.4 eV),但由於晶體結構不同、缺陷較多,實際崩潰電場約為2-2.5 MV/cm,較不適合超高電壓應用。

SiC的發展仍面臨幾項挑戰。由於SiC比矽更硬,加工與切割極為困難,容易造成損耗與成本上升,此外,它的表面氧化層成長速度非常慢,而這層氧化層的角色,就像控制閘門的玻璃門一樣,負責控制電子流動,要讓氧化層品質穩定,必須在高溫下長時間生長,但高溫又會讓晶體產生缺陷,因此製程條件難以平衡,導致晶圓良率不易提升、成本偏高;另一項挑戰是SiC的短路耐受性較低,這是因為它的導通電阻低、電流密度高但熱容量小,當電流瞬間暴增時,熱量來不及擴散,會造成局部過熱而損壞,相較之下,矽與GaN在這方面表現略佳:矽的漂移層較厚、熱容量大,能暫時吸收更多熱量;而GaN的導電密度較低,熱集中效應也稍微緩和。

圖2:目前電動車正朝向以SiC為元件材料來發展,來提升能源轉換、加強散熱以及縮小與減輕重量|來源:MotionElements

由於『電動化與節能』的全球浪潮,2025年SiC又再度成為產業焦點,電動車、快充與再生能源市場的快速成長,使高效能功率元件成為各大企業爭相投入發展。同時,8吋SiC晶圓製程的突破使得成本下降、良率提升,這得益於外延層厚度與摻雜控制更精準、缺陷檢測技術進步,以及晶圓生長方式改善,減少了位錯與缺陷,這些技術進步讓每片晶圓能切割出更多可用元件,使SiC能進入更多市場。

隨著技術的演進與材料理解的深化,SiC正逐漸從小眾市場走向主流,未來,我們將會看到充電更快的電動車、能源損耗更低的資料中心與更高效的綠能系統,使我們的科技再登另一個巔峰。

 


參考文獻

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  4. 黃鼎鈞,2024 年,《氮化鎵 (GaN) 有什麼厲害的?》,CASE 報科學
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