晶圓 (Wafer)
晶圓 (Wafer)
國立台南第一高級中學物理科王俊乃老師/國立彰化師範大學洪連輝教授責任編輯
在微電子學領域中,晶圓是指一片由半導材料製作而成的薄片,所謂的半導材料例如矽silicon晶體等。利用摻入雜質doping (例如使用擴散diffusion或離子佈植ion implantation)、化學性的蝕刻chemical etching、以及加各種材料的堆積deposition等方法,可以在晶圓上製作微型電路。所以半導體的製造過程中,例如製作積體電路,晶圓的製作無 疑是其中非常重要的一環。
