X ray

X射線光電子能譜儀 (X-ray photoelectron spectroscopy, XPS)
國立臺灣師範大學化學系 俞姿宇

X 射線光電子能譜儀 (X-ray photoelectron spectroscopy, XPS) 又稱為化學分析電子能譜儀 (electron spectroscopy for chemical analysis, ESCA)，由瑞典物理學家凱．西格巴恩 (Kai Siegbahn, 1918-2007) 發展的技術，並榮獲 1981 年諾貝爾物理學獎。²從 1960 年代末期開始普遍運用，研究固體材料表面的化學組成，確定各個元素的化學狀態，了解原子的鍵結狀態，靈敏度高，廣泛運用在科技上。