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【東華大學】 100-B3-2 應用電腦微全像無光罩單次微影技術製作光子晶體共振腔結構

Written By: admin on 五月 12, 2010 30 Comments

申請學校:東華大學

計畫編號:100-B3-2

計畫名稱: 應用電腦微全像無光罩單次微影技術製作光子晶體共振腔結構

領域別:物理-工程

主持人:王智明

系所:光電系

本計劃擬針對「工程物理領域」之學系,以無光罩式微影技術製作2維光子晶體結構,圖為實驗架構

??????? 本子計畫將應用電腦全像術(computer generated hologram,CGH),將空間編碼影像藉由空間光調制器(spatial light modulator,SLM)調製雷射光的相位以及振幅,並藉由顯微物鏡的作為電腦全像片的傅氏轉換元件,以單次曝光技術將全像影像重建並轉移至光阻或其他感光元件。傳統干涉式全像微影術對雷射光源的同調性要求較高,且干涉全像微影術僅能製作周期結構,且需要兩次曝光才能製作二維週期結構例如光子晶體結構,電腦全像微影術利用編寫不同的空間相位及振幅的分布,可製作非週期甚至是任意形狀的結構,例如具有缺陷共振腔結構的光子晶體。此外,無光罩微影系統由於不需光罩,因此目標影像可以是任意的灰階結構,意即亦可取代昂貴的灰階光罩。 此外,有別於傳統接觸式及鄰近式光罩微影術,無光罩式微影技術亦有潛力製作任意形狀的三維結構,例如具缺陷結構的三維光子晶體。

本計劃擬針對「工程物理領域」之學系,以無光罩式微影技術製作2維光子晶體結構,圖為實驗器材

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